| |
|
  |
 |
- SheRRescan misst den Flächenwiderstand von Wafern nach dem Senderdiffusionsschritt mit einer Vier-Punkt-Sonde
- Dies sagt die Gleichförmigkeit der Dotierstoffanwendung und in gewissem Maß die Qualität des Diffusionsschritts voraus
|
- Grafische Flächenwiderstandskarte eines Wafers
- Je höher der Flächenwiderstand, desto effizienter ist die Zellel
- Statistische Durchschnittswerte und Abweichungen werden auf der rechten Seite ausgegeben
|
| |
|
 |
|
| |
|
| |
|
| |
|
|
 |
 |
 |
| |
|
|
|
| Lebensdauertest |
Voc-Test |
Goniometer |
Mikroskop |
- Schlüsselleistungsbewertung- und Vorhersagewerkzeuge für Oblate-Qualität
|
- Mit dem Goniometer wird der hydrophile Zustand der Zelle festgestellt, indem der Winkel eines Wassertropfens gemessen wird.
|
| |
|
| |
|
| |
|
| |
|
 |
|
| |
|
- Wichtige Eigenschaften der Zelleffizienz und Elektrik werden gemessen und bewertet
|
|
| |
|